Home > 光MEMS静電共振ミラー

光MEMS静電共振ミラー Archive

光　MEMS　静電共振ミラー　メムスとは

2006-06-08 (Thu)
光MEMS静電共振ミラー

メムスとは・・・MEMS(micro electro mechanical system)とは、
機械部品と電子回路を融合し微細部品を形成した微小電子機械部品です。

光MEMS 静電共振ミラーとは、光学用途に駆動ミラーを単結晶シリコン上
に形成し、櫛形駆動部を静電気を用いて上下させる事によりミラーを動かし、
周波数で共振増幅させた単一ミラー面に半導体レーザーを照射し、画像を
スキャニング、プロジェクション更にはディスプレイする目的に用いる
微小電子機械ミラー部品を言います。

用途として、
バーコードレーザースキャナ、レーザースキャンプロジェクター、
ポケットプロジェクター、レーザースキャンプリンターや、
その他画像センサー、非接触センサー等のセキュリティ関連及び製造現場等での
品質管理に関わるセンサー、物体形状の計測及び特殊顕微鏡等が考えられ
ますが、将来的には携帯電話にプロジェクターを内蔵したり、超小型のレーザー
プリンター等のカラー色への応用も可能と思われます。

特徴

超小型軽量、高速動作、高密度、低消費電力、耐久性良、静寂、
再現性良、設置自在性、遠投影機能。